超純水設備：滿足芯片用水需求，制備高質(zhì)量超純水

2025-05-23

　　在科技飛速發(fā)展、生活品質(zhì)持續(xù)提升的當下，電子產(chǎn)品已深度融入人們生活的方方面面。而芯片，作為這些電子產(chǎn)品的核心元件，其重要性不言而喻。芯片的生產(chǎn)過程對用水水質(zhì)有著極高要求，超純水的質(zhì)量直接關乎芯片的性能表現(xiàn)。由于超純水重復利用率相對較低，行業(yè)對于高質(zhì)量超純水的需求極為龐大。

　　當前，市面上的超純水設備緊密依據(jù)芯片用水要求，采用全自動電去離子超純水處理技術，并配套前置預處理，通過反滲透 + EDI 裝置 + 拋光段工藝進行處理。該工藝能夠有效去除水中的各類鹽分及雜質(zhì)，進一步提升水質(zhì)，確保出水完全符合芯片生產(chǎn)用水標準。

　　超純水設備一般由多介質(zhì)過濾器、活性炭過濾器、精密過濾器等組成預處理系統(tǒng)，RO 反滲透主機系統(tǒng)，EDI 電除鹽系統(tǒng)以及拋光段工藝等構(gòu)成主要設備體系。水箱配備液位控制系統(tǒng)，水泵設有高低壓壓力保護裝置，同時搭載在線水質(zhì)檢測控制儀表。電氣部分采用模塊化組合 PLC，并通過通信遠程傳輸至中控室上位機，可實現(xiàn)現(xiàn)場就地和集中控制兩種操作模式。與其他同類產(chǎn)品相比，此設備具備更高的性價比與設備可靠性。

　　設備能夠連續(xù)、穩(wěn)定地制備出品質(zhì)優(yōu)良的超純水，其選用的 EDI 裝置不會因樹脂再生而停止運行。設備結(jié)構(gòu)設計緊湊，占地面積小，能夠為企業(yè)節(jié)省大量空間資源。超純水設備在出廠前均需進行裝置調(diào)試，設備故障幾率低，日常保養(yǎng)、維修等操作簡便易行。

　　綜上所述，超純水設備在制備高品質(zhì)超純水過程中，產(chǎn)出的廢水較少，不會對環(huán)境造成污染，具有顯著的環(huán)境效益與經(jīng)濟效益，發(fā)展前景十分廣闊。它為芯片生產(chǎn)提供了堅實的用水保障，有力推動著芯片產(chǎn)業(yè)的持續(xù)發(fā)展。